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當前位置:首頁技術文章激光共聚焦輪廓顯微鏡

激光共聚焦輪廓顯微鏡

更新時間:2021-01-13點擊次數:1575

產品特點:

激光共聚焦輪廓顯微鏡S neox的突出特點:
一款的3D光學測量儀
S neox整合了微型三坐標測量系統和表面粗糙度測量系統所有的功能。

LED環形燈的設計,使表面測量的范圍幾乎不受限制。
高分辨,高可重復性和可溯源
即使對于復雜樣品表面,仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
高測量速度
S neox的測量速度可以達到170萬點/秒。
模塊化和可擴展性
新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合
全自動
測量簡單且自動化程度高,如自動更換物鏡等

激光共聚焦輪廓顯微鏡S neox的主要技術參數:
位移范圍(X軸、Y軸、Z軸):100mm×100mm×100mm
樣品表面結構:表面形貌Ra>9nm,Lc=2µm,取決于表面結構
樣品高度:100mm ~ 345mm
樣品重量:30kg。
水平分辨率:0.44µm
垂直分辨率:10nm
掃描高度:22.5mm
擴展視野范圍:10000mm2
單一方向掃描范圍:100mm
測量速度:170萬個測量點/秒
小測量高度:0.01µm
測量高度:22.5mm
測量范圍:10000mm2
測量形貌長度:100mm
小可重復性:0.001µm
小測量粗糙度(Ra):0.03µm
小測量粗糙度(Sa):0.015µm
小測量半徑:1µm
小測量垂直角度:20°
大測量傾斜角度:87°

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